TSMC, 1.4nm üretim sürecine odaklanıyor. Şirket, rakipleri ASML'nin High-NA EUV makineleri yerine karmaşık çoklu desenleme (multi-patterning) tekniklerini kullanarak hedeflerine ulaşmayı planlıyor. 1.4nm üretim tesisinin inşaatı 2025'in sonunda başlayacak ve seri üretim için 2028'in ikinci yarısı hedefleniyor. TSMC'nin A14 süreci, enerji tüketiminde yüzde 30'a kadar azalma sağlayabilecek kapasiteye sahip olacak. Ancak bu alternatifin dezavantajları var; süreç zaman alıcı ve maliyetli olabilir, ayrıca başlangıçta yeterli verim sağlamayabilir. SMIC örneğinde verim düşük, maliyet yüksek görünüyor. Ancak TSMC'nin özel EUV ekipmanlarına sahip olması, bu süreci başarıyla gerçekleştirebileceği anlamına geliyor. Seri üretim için en az 3 yıl süre olduğu göz önünde bulundurulduğunda, TSMC'nin A14 sürecini mükemmelleştirmek için yeterli zamanının olduğu düşünülüyor.